TDPS /VPS 螺旋真空幫浦特點特點: 

1)完全無油式真空幫浦 

2)耐粉塵 

3)耐微量液体 

4)可操作溶劑 

5)耐酸鹼 

6)可回收製程溶劑 

7)排氣量大,体積小,佔地面積小,構造簡單無磨耗，可長時間運轉，耐用可靠工業用真空幫浦 

8)汽缸內不需潤滑油,沒有油氣逆流問題，製程乾淨 

9)吐出側無油氣飛散，不須真空油也無過濾器等耗材,作業環境乾淨 

10)單台幫浦真空度可直接到達 0.02 Torr