利用不發塵建材、阻塵設施建造的特殊封閉性建築(減少發塵源及發塵量)，

利用高效率循環空調系統，配合多道各種的精密濾網，

排除空氣中之氣狀與粒狀污染物，將空間內的微塵粒子控制在容許標準內便稱之為無塵室(Clean Room)。