離子束剖面研磨(Cross section polisher, CP)是利用離子束去切削出樣品之剖面，不同於一般樣品剖面研磨，離子束的切削可以避免在研磨過程中的應力影響。尤其對於待觀測樣品同時存在硬度差異較大的材質時，CP可解決軟性材料在研磨過程中應力所造成的延展。另外，經CP處理出來的樣品剖面因為不受應力的影響，可針對樣品表面之材料特性進行更精確的分析，例如: EDS, WDS, Auger及EBSD。CP其有效的樣品處理範圍約可達500μm。