雙束聚焦離子束樣品製備(Dual-beam FIB)
beaty beaty 發表於2014/11/20
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詳細規格
地點
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施工項目
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施工工法
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完工時間
進行中
預算
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內容說明

iST宜特建置業界最高階FEI Helios 450S機台及FEI Helios 600機台,採三班制24小時運作,提供客戶快速交期的高品質服務。

Dual-beam FIB機台能在以離子束切割樣品時,同時用電子束對斷面進行觀察。iST宜特所建置的業界最高階機台,具備超高解析度的離子束及電子束。能針對樣品中的微細結構進行奈米尺度的定位及觀察,大幅提升故障分析及TEM樣品製備的成功率與影像品質。

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